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  • 平整度測量機

    平整度測量機是一款高精度的非接觸式平整度測量設備。采用共焦位移測量技術結合高精度運動機臺,可以實現高速、高精度的平整度檢測要求。

     

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        設置簡單,操作方便。±1um的測量精度,±0.5μm的重復精度。

     

    型號

    SP-1100

    測量速度

    ≤12mm/s

    測量點間距

    0.2-72μm自由設置

    測量精度

    ±1μm

    平臺大小

    200×200mm

    X和Y方向行程

    100×100mm

    分辨率

    0.5μm

    重復精度

    <1.4μm

    最大允許負重

    10Kg

    量程(Z方向)

    400μm/1400μm/4000μm

    精度(Z)

    ±0.1μm/0.5μm/1μm

    采樣頻率

    100Hz-10kHz

    適配器額定輸入

    100-240VAC 0.8A 50-60Hz

    控制器額定輸入

    24VDC 1A 1.5A(max)

    傳感器輸入

    24V DC 3A

     

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