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  • 單頭厚度測量機

    單頭厚度測量機是一款主要用于測量透明體厚度、平整度的測量設備。采用共焦位移測量技術結合高精度運動機臺,可以同時高速、高精度的測量輸出厚度信息和表面平整度信息。

     

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    先進的測量技術,專業的測量算法,±1um測量精度,1.4μm重復精度,簡單的操作和超高精度與穩定性是您最佳的選擇。

     

    型號

    TM-1000S

    測量速度

    ≤12mm/s

    測量點間距

    0.2-72μm自由設置

    測量精度(整體)

    ±1μm

    平臺大小

    200×200mm

    X和Y方向行程

    100×100mm

    分辨率

    0.5μm

    重復精度

    <1.4μm

    最大允許負重

    10Kg

    量程(Z方向)

    400μm/1400μm/4000μm

    精度(Z)

    ±0.2μm/1μm/2μm

    采樣頻率

    100Hz-10kHz

    適配器額定輸入

    100-240VAC 0.8A 50-60Hz

    控制器額定輸入

    24VDC 1A 1.5A(max)

    傳感器輸入

    24V DC 3A

     

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